Strumenti per acquisizione ed analisi dati
Profilometro TMS-1200 TopMap μ.Lab
TopMap µ.Lab è il riferimento per i sistemi di misura ad elevate prestazioni basati su microscopio e senza contatto.
Esso è specificamente progettato per la caratterizzazione della topografia di microstrutture.
Utilizzando un interferometro a luce bianca a scansione, µ.Lab può misurare molto velocemente planarità, ondulatezza, rugosità e topografia generale con risoluzione di sub-nanometri.
Caratteristiche
- Misure di topografia 3-D rapide e senza contatto con risoluzione di sub-nanometri
- Funziona su superfici ruvide o speculari
- La tecnica Smart Surface Scan fa fronte a differenti livelli di contrasto
- Software TMS per caratterizzazione di topografia e superfici
- Presentazioni 2-D e 3-D
- Stitching opzionale per estendere il campo visivo
Misure senza contatto basate su microscopio di topografia e parametri di superficie
TopMap µ.Lab è una stazione di lavoro completa con microscopio per misure di micro topografia interferometriche a luce bianca su quasi ogni superficie. Il sistema è ideale per misure di sviluppo prodotto e controllo qualità off-line.
Una speciale lente genera un pattern di interferenza del campione di misura. Questo pattern è utilizzato da una video camera digitale e, tramite scansione dell’obiettivo con risoluzione di nanometri, si genera una serie di pattern di interferenza che vengono registrati dalla videocamera. Il risultato è una misura di topografia X-Y-Z dell’oggetto in prova con un’elevata risoluzione spaziale e valori Z molto precisi.
Il potente software di analisi utilizza l’insieme di dati per determinare forma, curvature, planarità e rugosità.
L’utente può processare i dati utilizzando inviluppi o valutazioni di fase così come diverse tecniche di filtraggio.
È anche disponibile un software opzionale di reportistica avanzata. Oggetti più grandi del campo visivo possono essere misurati traslando l’oggetto stesso e riunendo poi le misure di topografia (stitching).
Questa opzione è disponibile con traslazioni di 50 mm in direzione X e Y.
La superficie totale è quindi assemblata dalle misure individuali utilizzando il software TMS.
|
Hardware
|
Controllore
|
Microscopio di misura
|
|
Dimensioni [L x W x H]
|
244 mm x 108 mm x 50 mm
|
452 mm x 265 mm x 194 mm(1)
|
|
Peso
|
0.9 kg
|
10.4 kg(1)
|
|
Alimentazione
|
100 ... 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz; max. 30W
|
|
|
Temperatura di funzionamento
|
+5 °C ÷ +40 °C
|
|
|
Temperatura di immagazzinamento
|
-10 °C ÷ +65 °C
|
|
|
Umidità relativa
|
max. 80 %, non-condensing
|
|
(1) senza obiettivo e blocco focus
|
Ottica
|
|||||
|
Metodo di misura
|
Interferometria a scansione a luce bianca (Michelson/Mirau obiettivi)
|
||||
|
Sorgente luminosa
|
Long-lifetime LED, 525 nm wavelength
|
||||
|
Video Camera
|
Progressive scan CCD camera, 1392 (H) x 1040 (V) pixels
|
||||
|
Piezo travel range
|
Max. 250 µm
|
||||
|
Obiettivi
|
Zoom
x-factor |
Numeric aperture NA
|
Campo visivo
mm x mm |
Distanza di funzionamento
mm |
Pixel resolution
µm |
|
Mirau (Nikon CF Plan) obiettivo a interferenza
|
10
|
0.30
|
0.90 x 0.67
|
7.40
|
0.65
|
|
Obiettivi opzionali Michelson (Nikon CF Plan)
|
2.5
|
0.075
|
3.59 x 2.68
|
10.30
|
2.58
|
|
|
5
|
0.13
|
1.80 x 1.34
|
9.30
|
1.29
|
|
Obiettivi opzionali Mirau
|
20
|
0.40
|
0.449 x 0.335
|
4.70
|
0.323
|
|
|
50
|
0.55
|
0.180 x 0.134
|
3.70
|
0.129
|
|
Obiettivo Michelson
(Polytec Achro MI LD) |
4
|
0.1
|
2.24 x 1.68
|
>30
|
1.61
|
