MSA-100-3D Micro System Analyzer
Il Micro System Analyzer MSA-100-3D è progettato per l’analisi di vibrazioni 3D con elevata risoluzione laterale specialmente per microsistemi, parti di meccanica di precisione e dispositivi di memorizzazione.
Lo strumento è basato su un vibrometro 3D di nuova concezione che consente risoluzione di picometri per le componenti in-plane e out-of-plane con una banda in frequenza sino a 25 MHz.
Un dispositivo di movimentazione XY di precisione automatizzato via software consente di eseguire scansioni per ottenere deformate operative 3D.
Caratteristiche
- Misure in tempo reale con banda sino a 25 MHz
- Risoluzione di sub-pm per vibrazioni sia out-of-plane sia in-plane
- Misure a singolo punto e a scansione
- Dimensione dello spot laser < 4µm per un’elevata risoluzione spaziale
- Distanza di funzionamento sino a 38 mm
- Compatibile con probe station