MSA-600 Micro System Analyzer
Misura la dinamica 3D e la topografia dei MEMS
L’analisi e la visualizzazione della topografia superficiale e del movimento dinamico sono punti chiave per lo studio e lo sviluppo di microstrutture come dispositivi MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems).
Esse sono indispensabili per la validazione dei calcoli FE, la determinazione di effetti di cross talk e le misure delle deformazioni superficiali.
Le versioni MSA-600-M/V coprono il range in frequenza sino a 25 MHz, particolarmente adatto per MEMS, microfoni MEMS e alti microsistemi.
Le versioni MSA-600-X/U coprono le alte frequenze sino a 2.5 GHz e sono perfetti per la valutazione di risuonatori MEMS HF e micro-dispositivi acustici come filtri BAW (bulk acoustic wave) e dispositivi SAW (surface acoustic wave).
Il sistema MSA-600-S è la stazione di lavoro progettata per analisi in tempo reale di vibrazioni sino a 8 GHz e misure topografiche. È ideale per MEMS a GHz come FBAR (film bulk acoustic resonators), filtri BAW (bulk acoustic wave) e dispositivi SAW (surface acoustic wave).
La soluzione all in one per misure ottiche su MEMS
Il Micro System Analyzer MSA-600 è la stazione di lavoro all in one per misure ottiche per la caratterizzazione della topografia superficiale e di movimenti in-plane e out-of-plane.
Questo strumento garantisce flessibilità e precisione di misura superiori necessaria per studiare le microstrutture attuali e future.
Il Micro System Analyzer fornisce dati dinamici 3D e di risposta statica precisi che consentono di aumentare le prestazioni dei dispositivi riducendo i costi di produzione. In questo modo migliore e abbrevia il ciclo di progetto, semplifica la gestione dei problemi e migliora la resa.
Il vibrometro laser Doppler ad elevate prestazioni fornisce misure veloci in tempo reale con risoluzione in spostamento a livello di sub picometri. L’interferometro a luce bianca assicura milioni di dati di superficie in 3D in pochi secondi.
Completato dalla semplicità d’uso e dall’interfaccia utente intuitiva, MSA-600 è la potente soluzione ottica per la ricerca, lo sviluppo e il controllo qualità.
Compatibile con le probe station, il Micro System Analyzer è un aiuto fondamentale in tutti gli stadi dello sviluppo – dalla prototipizzazione alla prova e alla gestione delle problematiche dei MEMS – e aiuta a tagliare i costi di produzione e ad accorciare i tempi per l’uscita sul mercato.
- Stazione di lavoro ottica all-in-one optical per microstrutture
- Risultati in tempo reale senza necessità di post processing
- Versioni MSA-600-M/V sino a 25 MHz
- Versioni MSA-600-X/U sino a 2.5 GHz
- Versione MSA-600-S sino a 8 GHz
- Ineguagliabile risoluzione in spostamento dell’ordine dei sub-picometri
- Misura e visualizzazione veloce delle deformate operative
- Operatività semplice e intuitiva
- Sistema automatizzato per una facile integrazione nelle probe station
- Opzioni importazione ed esportazione per validazione modelli FE
Configurazioni possibili
