Servizio di prove senza contatto per capped MEMS
La vibrometria laser Doppler (LDV) è una tecnica universalmente riconosciuta per lo studio della dinamica di MEMS con la massima precisione. Tuttavia, la maggior parte dei vibrometri laser lavorano con nel campo di frequenze visibili per le quali l’incapsulamento in silicone è opaco e inibisce l’analisi dei MEMS.
Per questo motivo, le misure con LDV dei MEMS tramite lunghezze d’onda visibili necessitano di dispositivi non incapsulati o richiedono la rimozione dell’incapsulamento.
In realtà, nel processo di fabbricazione, l’incapsulamento può causare stress addizionale e rischia di alterare le prestazioni del dispositivo. Un’analisi completa del MEMS nella sua configurazione finale incapsulata è quindi necessaria.
Poiché il silicone è trasparente allo spettro infrarosso per lunghezze d’onda superiori a 1050 nm, le misure di vibrazione basate sull’interferometria a infrarossi, aprono alla possibilità di ispezionare MEMS incapsulati e di ottenere risultati della massima utilità.
La nuovissima e brevettata tecnologia interferometrica di Polytec fornisce una qualità di dati elevatissima grazie alla superiore separazione dei vari livelli nei dispositivi MEMS incapsulati.
Analisi modale su MEMS incapsulati
Per un’analisi completa e dettagliata di MEMS incapsulati è possibile contattare gli esperti Polytec che saranno lieti di ricevere i capped MEMS dei propri clienti per analisi modale, studi di fattibilità e consulenze lungo tutte le fasi dallo sviluppo, alla prototipizzazione, alla produzione delle microstrutture incapsulate.
- Servizio di misure su capped MEMS tramite questa brevettata tecnologia all’avanguardia per avere i risultati senza necessità di investimento
- Separazione superiore dei layer del dispositivo in MEMS incapsulati per ottenere il reale comportamento dinamico
- Rilievo dei dati di vibrazione reali anche per capped MEMS a struttura complessa
- Dati ad elevata risoluzione e con banda in frequenza sino a 25 MHz per validazione FEM
- Il microscopio integrato IR ad elevate prestazioni consente la misura attraverso il silicone
- Tecniche di video microscopia per movimento in-plane sino a 2.5 GHz
- Esportazione dei dati modali, dei grafici e dei video
- Software gratuito ScanViewer o versione desktop per visualizzare e condividere i risultati